《硅材料中氧含量的測(cè)試惰性氣體熔融紅外法》(GB/T38976-2020)【全文附PDF版下載】
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《硅材料中氧含量的測(cè)試惰性氣體熔融紅外法》(GB/T38976-2020)【全文附PDF版下載】
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T38976-2020
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱:硅材料中氧含量的測(cè)試惰性氣體熔融紅外法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱:Test method for the oxygen concentration in silicon materials-Inert gas fusion infrared detection method
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(CCS) H17 國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)(ICS) 77.040
發(fā)布日期 2020-07-21 實(shí)施日期 2021-06-01
主管部門 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì) 歸口單位 全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布單位 國家市場監(jiān)督管理總局、中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
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