《基于柔性鉸鏈機構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動器的納米定位與掃描平臺測量方法》（GB/T38614-2020）【全文附PDF版下載】

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標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T38614-2020

中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：基于柔性鉸鏈機構(gòu)和壓電陶瓷驅(qū)動器的納米定位與掃描平臺測量方法

英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator

中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS） N10 國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS） 01.040.39

發(fā)布日期 2020-04-28 實施日期 2020-11-01

主管部門 工業(yè)和信息化部（電子） 歸口單位 全國電子測量儀器標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會

發(fā)布單位 國家市場監(jiān)督管理總局、中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會









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本文關(guān)鍵詞： 機構(gòu), 陶瓷, 驅(qū)動器, 納米, 定位, 掃描, 平臺, 測量, 方法, GB, 2020, 全文, PDF版, 下載